M3
- MOF(Meta Object Facility)
- M2 수준에 속한 메타 모델을 정의하는 메타메타 모델

M2
- UML 기반 설계를 가능케하는 모델 요소를 정의하는 메타 모델

M1
- 사용자 모델을 도식화하는 모델 계층

M0
- 런타임 인스턴스 계층
- 모델이  코드를 생성하고, 그것을 실행하는 단계

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